中华人民共和国机械行业标准
JB/T 6446——2004
代替JB/T 644——1992， JB/T 4077~4080——1991，JB/T 4083——1991
真空阀门
Vacuum valves
2004-10-20发布2005-04-01 实施
中华人民共和国机械行业标准
JB/T 6446——2004
代替JB/T 644——1992， JB/T 4077~4080——1991，JB/T 4083——1991
中华人民共和国国家发展和改革委员会 发布
目 次
前言.....................III
1 范围......................1
2规范性引用文件............1
3 型式与基本参数...........1
3.1 型式....................1
3.2 基本参数与连接尺寸.......1
4 基本条件.................13
4.1基本要求................13
4.2正常开启条件.............13
4.3 环境温度.................14
4.4介质.....................14
4.5质量保证.................14
5 技术要求..................14
5.1 漏率.....................14
5.2 线圈温升.................14
5.3开、闭时间...............14
5.4 平均无故障次数............14
5.5 最大、 最小可调量.........14
5.6 烘烤温度..................14
5.7 绝缘强度..................14
5.8 外观质量..................14
5.9 动作要求..................14
6 试验方法....................14
6.2 温升的测试.................16
6.3 开、闭时间的测试...........16
6.4 平均无故障次 数的测试.....16
6.5 最小可调量及最大可调量的测试......17
6.6 烘烤温 度的测试.............17
6.7 绝缘强度的测试..............17
6.8 外观质量....................17
6.9 动作要求....................17
7 检验规则......................17
8 标志、包装、运输、贮存........17
表1 电磁真空带 充气阀基本参数与连接尺寸........2
表2 电磁高真空挡板 阀基本参数与连接尺寸........3
表3 电磁高真空 充气阀基本参数与连接尺寸........4
表4 高真空微调阀基本参数与连接尺寸.............5
表5 高真空隔膜阀基本参数与连接尺寸.............6
表6 高真空蝶阀基本参数 与连接尺寸..............7
表7 高真空挡板阀基本参数与连接尺寸.............8
表8 高真空插板阀基本参数与连接尺寸..............9
表9 真空调节阀基本 参数与连接尺寸..............10
表10 真空球阀基本参数与连接尺寸................11
表11 超高真空挡板阀基本参数与连接尺寸...........12
表12 超高真空插板阀基本参数与连接尺寸...........13
表13 阀门漏率测试内容...........................16
前 言
本标准代替JBIT 6446- 1992 《真空阀门技术条件》、JB/T 4077- 1991 《高真空插板阀型式与基本参数》、JB/T 4078- 1991 《高真空挡板阀型式与基本参数》、JB/T 4079- -1991 《高真空蝶阀型式与基本参数》、JB/T 4080- 1991 《高真空电磁阀型式与基本参数》、JB/T 4083--1991《真空电磁带充气阀型式与基本参数》。
依据GB/T 1.1- -2000 的有关规定，形成本标准的编写格式和方法，同时将JB/T 4077-1991 《高真空插板阀型式与基本参数》、JB/T 4078-1991《高真空挡板阀型式与基本参数》、JB/T 4079- 1991 《高真空蝶阀型式与基本参数》、JB/T 4080- 1991 《高真空电磁阀型式与基本参数》、JB/T 4083- 1991 《真空电磁带充气阀型式与基本参数》的内容纳人本标准，并增加了电磁高真空充气阀、高真空隔膜阀、
高真空微调阀、真空调节阀、真空球阀、超高真空挡板阀、超高真空插板阀的内容。
本标准由中国机械工业联合会提出。
本标准由全国真空技术标准化技术委员会(SACITC18) 归口。
本标准起草单位:上海阀门二厂、 沈阳真空技术研究所。
本标准主要起草人:李红、张明达。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
--ZB J78 005一1987、 JB/T 6446-1992;
--ZB J78 006- 1987. JB/T 6446-1992;
--JB 4077一 1985、JB/T 4077-1991;
--JB 4078- -1985、JB/T 4078-1991;
--JB 4079-1985、JB/T 4079-1991:
--JB 4080-1985、JB/T 4080-1991;
--JB 4083-1985、 JB/T 4083-1991。
真空阀门
1范围
本标准规定了真空阀门(以下简称阀门)的型式与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于应用在真空系统中的电磁真空带充气阀、电磁高真空挡板阀、电磁高真空充气阀、高真空微调阀、高真空隔膜阀、高真空蝶阀、高真空挡板阀、高真空插板阀、真空调节阀、真空球阀、超高真空挡板阀、超高真空插板阀。
2 规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单1不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。
GB/T3164 真空技术系统图用图形符号
GB/T 4982 真空技术快卸连接器 尺寸第1部分:夹紧型(GBT 4982- 2003， ISO 2861-1;1974 (E)，DT)
GB/T 6070 真空法兰 (GB/T 6070- 1995，eqv ISO 1609: 1986)
GB/T 6071 (所有部分)超高真空法兰
GB/T 13306 标牌
JB/T 5278 (所有部分)铜丝 密封可烘烤真空法兰
JB/T 7352 工业过程控制系统用电磁阀
JB/T 7673 真空设备型号编制方法
3 型式与基本参数
3.1 型式
3.1.1 驱动型式
阀门有手动、气动、电动和电磁动四种型式，分别以手、压缩空气、电源和电磁力为动力，通过执行机构带动阀板(或阀的主密封件)使阀广开启和关闭。
3.1.2 型号表示方法
阀门的型号表示方法应符合JB/T 7673的规定。
3.1.3 公称通径
阀门的公称通径DN ( 单位为mm)应从下列系列中选取:
0.8，1.5， 2.5，6，10，16，20，25，32，40， 50， 63 (65)， 80，100, 125，160 ( 150)，200.250，320 (300)， 400, 500，630 (600)， 800， 1000， 1250 (1200)， 1600 ( 1500).
3.2 基本参数与连接尺寸
3.2.1 电磁真空带充气阀
3.2.1.1 图1.图2给出了阀门的结构型式。
3.2.1.2 表1给出了阀门的基本参数与连接尺寸。
3.2.2 电磁高真空挡板阀
3.2.2.1 图3、图4给出了阀门的结构型式。
3.2.2.2表2给出了 阀门的基本参数与连接尺寸。
3.2.3.1图5. 图6给出了阀门的结构型式。
3.2.3.2 表3给出了阀门的基本参数与连接尺寸。
3.2.4 高真空微调阀
3.2.4.1 图7给出了阀门的结构型式。
3.2.4.2 表4给出了阀门的基本参数与连接尺寸。
3.2.5 高真空隔膜阀
3.2.5.1 图8. 图9.图10给出了阀门的结构型式。
3.2.5.2 表5给出了阀门的基本参数与连接尺寸。
3.2.6 高真空蝶阀
3.2.6.1 图11给出了阀门的结构型式。.
3.2.6.2 阀门的驱动型式为手动、气动和电动。
3.2.6.3 表6给出了阀门的基本参数与连接尺寸。
3.2.7 高真空挡板阀
3.2.7.1 图12、图13.图14和图15给出了阀门的结构型式。
3.2.7.2 阀门的驱动型式为手动、气动和电动。
3.2.7.3 表7给出了阀门的基本参数与连接尺寸。
3.2.8 高真空插板阀
3.2.8.1 图16、图17给出了阀门的结构型式，
3.2.8.2 阀门的驱动型式为手动，气动和电动。
3.2.8.3表8给出 了阀[ ]的基本参数与连接尺寸。
3.2.9 真空调节阀
3.2.9.1 图18， 图19给出了阀门的结构型式。
3.2.9.2 表9给出了阀门的墓本参数与连接尺寸。
3.2.10 真空球阀
3.2.10.1 图 20、图21和图22给出了阀门的结构型式，
3.2.10.2 阀门的驱动型式为手动、气动和电动。
3.2.10.3表10给出了阀门的基本参数与连接尺寸。
3.2.11 超高真空挡板阀
3,2.11.1 图23给出了阀门的结构型式。
3.2.11.2 '表11给出了阀门的基本参数与连接尺寸。
3.2.12 超高真空插板阀
3.2.12.1 圈24、 图25给出了阀广]的结构型式。
3.2.12.2 阀门的驱动型式为手动，气动和电动。
3.2.12.3 表12给出了阀门的基本参数与连接尺寸。
4 基本条件
4.1 基本要求
阀门应符合本标准的要求，并按照经规定程序批准的图样及技术文件制造。
4.2 正常 开启条件
4.2.1 电磁真空带充气阀， 当电压在A.C.220X(1土10%)V范围内时应能正常开启。
4.2.2 电磁高真空挡板阀， 当电压在A.C.220X(1土I0%)V范围内及阀门密封面下端为真空，另一端为大气时，应能正常开启。
4.2.3电磁高真空充气阀采 用交流电源时，当电压在A.C.220X(I土10%)V范围内，阀门应能正常
开启。
4.2.4 超高真空插板阀， 阀门两侧压力差应不大于(2.7>10*) Pa。
4.3 环境温度
阀门适用的环境温度为5C ~40C.
4.4 介质
阀门的使用介质为洁净的空气和非腐蚀性气体。
4.5 质量保证
在用户遵守阀门保管、使用、安装等规定的条件下，从制造厂发货日起一年内，阀门因制造质量不良而不能正常工作时，由制造厂负责为用户维修或更换。
5 技术要求
5.1 漏率
表1~表12给出了阀门的漏率指标。
5.2 线圈温升
表1~表3给出了电磁阀门的线圈温升指标。
5.3 开、闭时间
表1~表3、表6给出了阀门的开、闭时间指标。
5.4 平均无故障次数
表1~表3、表5~表10、表12给出了阀广J的寿命指标。
5.5 最大、 最小可调量
5.6 烘烤温 度
表11、表12给出了阀门的烘烤温度指标。
5.7 绝缘强度
绝緣强度指标应符合JBT 7352中的规定。
5.8 外观质t
阀门应表面光洁，零件完整，标志清晰。
5.9 动作要求
阀门所有运动部件，必须灵活，可靠，不得有卡阻现象。
6 试验方法
6.1 漏率的测试
6.1.1 测试方法
氢质谱检漏法。
6.1.2 测试装置
测试装置如图26所示，由氦质谱检漏仪《以下简称仪器)、检漏台及真空辅助系统组成(真空辅助系统按GB/T 3164规定绘制)。
6.1.3 测试步骤
6.1.3.1 仪器的灵敏度 qmin的测试
在阀门漏率测试之前，首先按图26所示装置,在检循台接口处接标准漏孔.测得仪器的灵敏度qmin
6.1.3.2 阀门总体漏率 Qm的测试
6.1.3.2.1 将阀门的 由阀板直接封隔或开启的阀口与检漏台接口相对接，阀门的另一法兰口用自板封隔。
6.1.3.2.2开启阀门的阀板， 启动真空系统。待阀门体内压力降到(5X10~1) Pa时，接通检漏仪继续抽空。当测试装置压力降致极限压力或接近极限压力时，关闭通向真空系统的阀门。记录检漏仪输出信号值U1.
6.1.3.3.1 将阀门的由阀板直接封隔或开启的阀口与检漏台接口相对接，阀门的另-法兰口与大气相通
6.1.3.3.2 关闭阀门的阀板， 启动真空系统。待系统内压力降到(5X10-') Pa时，接通检漏仪继续抽空。当测试装置压力降致极限压力或接近极限压力时，关闭通向真空系统的阀门:对阀板以下空间进行测试，记录检漏仪输出信号值Un。
6.1.3.3.3 使用喷吹法时，将氦气喷枪伸人阀门体内，向阀板表面及密封口周围喷氦、记录各漏孔氦信号值，并计算其和U。.
6.1.3.3.4 使用氦罩法时， 用一密质材料(如塑料薄膜等)制成的钟罩将阀门严密扣封，井向罩内充人氦气。记录检漏仪输出稳定的氦信号值U1。
6.1.3.3.5 阀门正向漏率Qr(=Q)按式(1)计算。
6.1.3.4 阀门反向漏率 Qb的测试
6.1.3.4.1 关闭阀门的阀板,将阀门的另一法兰口与检漏台接口相对接并连通。
6.1.3.4.2 启动真空 系统，按6.1.3.2.2进行测试，记录检漏仪输出信号值Ul。
6.1.3.4.3 使用喷吹法时， 用氦气喷枪从外部向阀门阀板表面及密封口周園和阀门外表面喷氦，记录各漏孔口氦信号值，并计算其和Uno
6.1.3.4.4 使用氦罩法时， 用-密质材料(如塑料薄膜等)制成的钟罩将阀门严密扣封，并向罩内充入氦气。记录检漏仪输出稳定的氦信号值Un。
6.1.3.4.5 阀门反向漏率Qb(=Q) 按式(1)计算。
6.1.3.5 阀门漏率测试方 法的采用
高真空微调阀、超高真空挡板阀、超高真空插板阀使用氦罩法测试。
6.1.3.6 阀门漏 率的具体测试内容
阀门漏率的具体测试内容见表13.
6.2 温升的测试
用电阻法测试，依据JB/T 7352中规定的方法进行。
6.3 开、闭时间的测试
阀门的开、闭时间，用秒表直接测得。
6.4 平均无故障次数的测试
6.4.1 阀门经平 均无故障次数试验台进行测试，由控制系统操纵进行平均无故障次数试验的自动作业。用计数器测试、记录阀门的开、闭次数。
6.4.2 按平均无故障次数指标的 12、 3/4 倍进行预测，每次预测后，均需测试阀门的其他性能，以判断阀门性能的变化，最后则按平均无故障次数指标测试。也可根据测试工作的需要，按平均无故障次数指标的1/2、3/4倍进行预测后，继续安排7/8倍、15/16 倍等进行预测，但相邻两次之间开、闭次数之
差不得小于平均无故障次数指标的10%。
6.5 最小可调及最大可调的测试
6.5.1 将高真空微调阀安装 在流量装置系统上，在高真空状态下，以逆时针方向微量旋转手轮，阀门应能按表4要求的最小微调量打开，并能在规定的量程中平稳调节。
6.5.2 继续旋转手轮， 使阀门处于全开状态，此时测得的气体流量即为最大可调量。
6.6 烘烤温度的测试
打开阀门并使阀广]体腔内处于真空状态，当腔内真空度达到10*Pa 时，使阀体部件(传动装置除外)逐渐加热到规定的温度，并在此条件下，持续2h进行烘烤试验。然后除去热源，在真空状态下使阀门自然冷却至室温。对烘烤后的阀门，进行漏率试验。
6.7 绝缘强度的测试
根据JB/T 7352中规定的方法进行。
6.8 外观质量
用目测法进行。
6.9 动作要求
6.9.1 手动阀门应转动手柄 (手轮)使之开、闭三次，不得借助辅助工具。
6.9.2 气动阀f ]在电源电压为A.C.220X(1土10%)V情况下，以0.6MPa压力的压缩空气将阀门启闭不少于三次，这时电磁换向阀应能正常换向，气缸及各连接部位无明显漏气现象，阀门的启闭信号装置应
能正确地输出启闭信号。然后将气源压力降至0.4MPa重复以上试验，动作均应符合规定。如附有手动
装置时，应在手动状态下重复试验。
6.9.3 电动、 电磁阀门在电源电压为A.C.220X(1士10%)V情况下，将阀门启闭不少于三次，如附有手
动装置时，应在手动状态下重复。
7检验规则
7.1 每台阀门都需 经制造厂质量检验部门按本标准和相应标准及技术文件检验合格后方可出厂。阀门的检验分为出厂检验和型式检验。
7.1.1 出厂检验项目:
a) 漏率:
b)外观质量:
c) 动作。
7.1.2 型式检验项目:
7.1.2.1 按 照阀门的基本参数中规定的项目。
7.1.2.2 阀门在下列情况下应进行型式试验:
a) 试制新产品时:
b) 阀门的设计、工艺或材料有重大变动可能影响阀门的性能时。
8 标志、 包装、运输、贮存
8.1 阀门应在 明显位置固定产品标牌，标牌应符合GB/T 13306规定。标牌内容应包括:
a) 制造厂厂名及商标;
b) 阀门型号及名称;
c) 阀门公称通径;
d) 阀门编号及制造日期。
8.2 阀门的包装应安全、 半固，应注意保护密封面不受损伤。阀体内部应能保持清洁，防止锈蚀及损伤。应防止产品的附件、备件及装箱文件的损坏及丢失。
8.3 阀门出厂 时，应附带下列文件，并封装在不透水的袋中。
a) 产品合格证;
b)产品说明书;
c) 备品配件清单。
8.4 阀门在运输贮存中应保持清洁,不得受雨水浸袭。 阀i ]应存放在空气流通、相对湿度不大于90%，温度不高于+ 40'C及不低于- 20C的仓库中。
